‘몰리브덴’ 키워드 기사 4건
“몰리브덴 증착, 공급 장비 장기 안정성 관건”…머크, CHEMKEEPER®로 차세대 공정 대응
SEMI와 머크(Merck)가 공동 진행한 웨비나에서 머크의 Benjamin Garrett 박사는 ‘증착 공정의 게임 체인저: 차세대 공정 소재 몰리브덴과 첨단 공급 시스템’을 주제로 발표하며, 몰리브덴 디옥시디클로라이드 전구체(MoO₂Cl₂)와 CHEMKEEPER® …
2026.07.24 by 배종인 기자
어플라이드, 3D 반도체 공정용 증착·선택적 식각 시스템 공개
어플라이드 머티어리얼즈가 AI 반도체 확산으로 복잡성이 높아진 3D 반도체 구조에 대응하기 위한 신규 증착 및 선택적 식각 장비를 공개했다. 새로 발표된 Centris Spectral SiN ALD 시스템은 고종횡비 구조에서 균일한 실리콘 질화막 형성을 지원하며, Pr…
2026.06.16 by 배종인 기자
철 치환으로 수전해 효율 높인다
한국재료연구원(KIMS)이 철(Fe)을 활용한 원자 구조 제어를 통해 고성능 알칼라인 수전해 촉매를 구현하며 수소경제 실현에 한 걸음 다가섰다.
2026.03.17 by 배종인 기자
캐서린 데이 카스 머크 수석부사장 & 김우규 한국머크 대표이사
세미콘코리아 2026에 참가한 머크 부스에서 캐서린 데이 카스(Katherine Dei Cas) 머크 일렉트로닉스의 딜리버리 시스템 및 서비스 사업부의 글로벌 헤드이자 수석부사장과 김우규 한국머크 대표이사와 만나 한국의 전략적 위치 및 올해의 사업 방향에 대해 들어봤다…
2026.02.20 by 배종인 기자