기계연, 친환경 질소 냉매 반도체 극저온 칠러 개발

한국기계연구원이 지구온난화지수(GWP) 0인 질소 냉매를 적용한 대용량 극저온 칠러를 개발했다. 영하 120℃ 이하에서 15kW 냉각 성능을 구현하며, 국산 터보기계를 탑재해 반도체 공정 현장 적용이 가능하다. 핵심 부품 국산화로 공급망 안정성을 확보했으며, 차고엔지니…

2026.11.02 by 배종인 기자