마이크로칩 11월
‘ALD’ 키워드 기사 2건
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    ASM, 5년 연속 반도체 장학사업 참여…이공계 인재 지원

    반도체 증착 장비 전문 기업 ASM이 한국반도체산업협회 주관 ‘제21회 반도체 장학증서 수여식’에 참여해 울산과기원 대학원생에게 장학증서를 전달했다. ASM은 2022년부터 5년 연속 KSIA 장학사업을 지원하고 있으며, 화성시재단 기부금·글로벌 탐방 프로그램·여성 이…

    2026.10.23 by 배종인 기자

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    어플라이드, 2나노 이하 GAA 공정용 증착 장비 2종 발표

    어플라이드 머티어리얼즈가 2나노 이하 GAA 공정을 겨냥한 증착 장비 2종을 발표했다. Precision 선택적 질화막 PECVD는 STI 구조 보호를 통해 기생 커패시턴스와 누설 저감을 목표로 하고, Endura Trillium ALD는 실리콘 나노시트에 메탈 게이트…

    2026.04.14 by 배종인 기자