UNIST, 차세대 EUV 포토레지스트 설계 기술 개발…감도·정밀도 맞춤 제어

UNIST 에너지화학공학과 장지현 교수 연구팀이 주석 산화클러스터(Tin Oxo Cluster, SnOC)의 리간드 특성을 조절해 포토레지스트의 감도와 패턴 정밀도를 제어하는 기술을 개발했다.

2026.09.21 by 배종인 기자